[发明专利]光罩、基板及其制备方法

摘要

本发明涉及一种光罩、基板及其制备方法，光罩包括阻光区、透光区以及部分透光区，部分透光区及阻光区通过透光区间隔，部分透光区允许部分紫外线透过，且包括第一部分透光区以及第二部分透光区，其中：第一部分透光区连接于透光区的边缘，且具有渐变紫外线透过率；第二部分透光区连接于第一部分透光区远离透光区的边缘，第二部分透光区具有固定紫外线透过率，以使得第二部分透光区对应的保护层的厚度均匀且小于透光区对应的保护层的厚度，从而形成不同厚度的保护层，而第一部分透光区连通透光区和第二部分透光区，从而能够使得保护层之间具有平滑坡度，提高视觉效果。