[发明专利]一种以流延氧化铝包裹加热线路的氧传感器芯片

摘要

本发明涉及氧传感器制作领域，具体公开了一种以流延氧化铝包裹加热线路的氧传感器芯片，包括印刷有加热线路的线路层，所述线路层的上下两侧覆盖有将其包裹的保护层，所述线路层与所述保护层之间叠压有过渡层，所述过渡层为氧化锆与氧化铝按不同比例混合流延制作成的基体。本发明通过在线路层与保护层之间添加过渡层，然后将三者紧密叠压在一起，过渡层能够将线路层上的加热电路完全包裹起来，从而起到良好的绝缘效果，相比于用丝网印刷技术印刷绝缘层的方式，将过渡层与线路层叠压在一起的方式，后者的技术要求会更低，在实际操作中更容易实现。