[发明专利]柔性自支撑单晶磁性Fe3有效

专利信息
申请号: 202010366848.1 申请日: 2020-04-30
公开(公告)号: CN111733452B 公开(公告)日: 2021-09-21
发明(设计)人: 钟高阔;李江宇;訾孟飞;安峰;屈可 申请(专利权)人: 深圳先进技术研究院
主分类号: C30B23/02 分类号: C30B23/02;C30B23/06;C30B29/16;C30B29/22;C30B33/10;H01L43/10
代理公司: 北京维正专利代理有限公司 11508 代理人: 诸炳彬
地址: 518000 广东省深圳市*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及柔性自支撑单晶磁性Fe3O4薄膜材料的制备方法、单晶磁性Fe3O4薄膜及其应用、单晶结构;制备方法包括如下步骤:选择晶面取向为(001)的STO基片;在STO基片上制备单晶SAO层;在单晶SAO层上制备单晶磁性Fe3O4薄膜,形成STO/SAO/Fe3O4单晶结构;将制得的STO/SAO/Fe3O4单晶结构浸泡于水中溶解单晶SAO层,STO基片与单晶磁性Fe3O4薄膜分离,制得柔性自支撑单晶磁性Fe3O4薄膜材料。柔性自支撑单晶磁性Fe3O4薄膜材料具有优异的柔性、自支撑特性,室温下饱和磁化强度大,在柔性自旋电子器件等领域具有广阔的应用前景。
搜索关键词: 柔性 支撑 磁性 fe base sub
【主权项】:
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