[发明专利]掩模板夹持装置以及张网设备有效
| 申请号： | 202010368194.6 | 申请日： | 2020-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN113579604B | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 孙启峰;张洪博;耿鹏飞;张瑞平 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K37/04 | 分类号： | B23K37/04 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种掩模板夹持装置以及包括所述掩模板夹持装置的张网设备。所述掩模板夹持装置在夹持块上设置有至少两个沟槽，所述沟槽的深度方向和长度方向均与所述掩模板的厚度方向垂直，所述沟槽沿所述掩模板的厚度方向排列且在所述深度方向相互交叠。沟槽的设置使得夹持块具有一定的柔性，柔性夹持块在夹持过程中可以根据应力情况进行自适应调整，使作用于掩模板上的夹持力更加均衡，减小所夹持的掩模板的变形量，在夹持精密掩模板时，可以提高像素套合精度。 | ||
| 搜索关键词： | 模板 夹持 装置 以及 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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