[发明专利]MEMS加速度计及其提高抗冲击能力的方法有效
| 申请号： | 202010368578.8 | 申请日： | 2020-05-01 |
| 公开（公告）号： | CN111381073B | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 邹波;郭梅寒 | 申请（专利权）人： | 深迪半导体（绍兴）有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 上海剑秋知识产权代理有限公司 31382 | 代理人： | 杨飞 |
| 地址： | 312030 浙江省绍兴市柯桥区柯桥*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种MEMS加速度计及其提高抗冲击能力的方法，所述MEMS加速度计包括阻尼梳齿，所述阻尼梳齿包括可动梳齿和固定梳齿，在所述可动梳齿和所述固定梳齿上加载电信号以产生适于两者相吸的静电力，所述可动梳齿适于在所述静电力作用下产生形变，以使所述可动梳齿较形变前更靠近所述固定梳齿。 | ||
| 搜索关键词： | mems 加速度计 及其 提高 冲击 能力 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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