[发明专利]一种单晶炉副室清理装置及清理方法在审
| 申请号： | 202010371308.2 | 申请日： | 2020-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN113617761A | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | 吴树飞;王林;高润飞;谷守伟;王建平;周泽;杨志;赵国伟;刘振宇;郝瑞军;刘学;皇甫亚楠;杨瑞峰;郭志荣;钟旭 | 申请（专利权）人： | 内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/087 | 分类号： | B08B9/087;B08B13/00 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 010070 内蒙古自*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本发明提供一种单晶炉副室清理装置，包括与副室内壁相适配的架体，在所述架体外壁设有清洁件，所述架体的外壁沿其高度方向被所述清洁件全覆盖，所述清洁件与所述副室内壁周缘全接触，从所述架体内侧向所述清洁件提供清洗液，所述清洁件沿所述副室轴线上下移动并可连续清洁所述副室。本发明还提供一种单晶炉副室清理方法。本发明提出的清理装置，结构简单且易于控制，可连续全面地清洁副室内壁，无遗漏，清洁质量好且清洁效果一致，清洗液利用率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉副室 清理 装置 方法 | ||
【主权项】：
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