[发明专利]一种多晶硅破碎装置及破碎方法

摘要

本发明公开了一种多晶硅破碎装置及破碎方法，包括液态二氧化碳高压腔体，用于储存液态二氧化碳，并将腔体内液态二氧化碳转化为高压气体二氧化碳；多晶硅破碎室，用于储存破碎前的棒状多晶硅和破碎后的多晶硅碎片；气体脉冲破碎器，其一端与液态二氧化碳高压腔体连通，另一端密封并安装于多晶硅破碎室内，将液态二氧化碳高压腔体内产生的高压气体二氧化碳以脉冲方式释放于多晶硅破碎室内，将棒状多晶硅致裂成多晶硅碎片。该破碎装置破碎分选率高，棒状多晶硅破碎时受力均匀，可根据需求产出高分选率大小的硅块；棒状多晶硅破碎时受力平均，无易损部件，能够实现长时间运行；破碎原理为液态二氧化碳相变产生高压致裂过程，二氧化碳为非易燃易爆物质，运输和储存方便。