[发明专利]一种晶体制备装置在审
申请号: | 202010373329.8 | 申请日: | 2020-05-06 |
公开(公告)号: | CN111254486A | 公开(公告)日: | 2020-06-09 |
发明(设计)人: | 王宇;杨田;梁振兴 | 申请(专利权)人: | 眉山博雅新材料有限公司 |
主分类号: | C30B23/00 | 分类号: | C30B23/00;C30B29/36;G01J5/00 |
代理公司: | 成都七星天知识产权代理有限公司 51253 | 代理人: | 杨永梅 |
地址: | 620010 四川省眉*** | 国省代码: | 四川;51 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本申请提供一种晶体制备装置。所述晶体制备装置包括:生长腔体,用于放置籽晶和源材料;加热组件,用于加热所述生长腔体;温度补偿组件,用于在晶体生长过程中提供温度补偿,其中,所述温度补偿组件位于所述生长腔体上表面或下表面,所述温度补偿组件包括至少一个加热单元。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶体 制备 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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