[发明专利]体声波谐振器及制造方法、体声波谐振器组件、滤波器及电子设备在审
| 申请号： | 202010376232.2 | 申请日： | 2020-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN113630099A | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | 庞慰;闫德海;杨清瑞 | 申请（专利权）人： | 诺思（天津）微系统有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/02;H03H9/17 |
| 代理公司： | 北京金诚同达律师事务所 11651 | 代理人： | 汤雄军 |
| 地址： | 300462 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种体声波谐振器及其制造方法。该谐振器包括：基底；声学镜；底电极；顶电极；和压电层，其中：声学镜、顶电极、底电极和压电层在谐振器的厚度方向上的重叠部分构成谐振器的有效区域；压电层的上下两侧中的至少一侧设置有凹陷部，凹陷部的底部为平坦面；凹陷部的区域内设置有顶电极和底电极中对应的电极。本发明还涉及一种体声波谐振器组件、一种滤波器以及一种电子设备。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 谐振器 制造 方法 组件 滤波器 电子设备 | ||
【主权项】：
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