[发明专利]接触电阻监测器件及其制作方法、显示面板

摘要

本申请提供一种接触电阻监测器件及其制作方法、显示面板，所述接触电阻监测器件包括基板、设置于所述基板上的栅极金属层、设置于所述基板上的层间介电层、设置于所述层间介电层的凹孔内的源漏极金属层、以及设置于所述层间介电层及所述源漏极金属层上的像素电极层。本申请通过将源漏极金属层设置于层间介电层的凹孔中，避免了源漏极金属层因自身的凹陷表面而导致的像素电极层断裂，有利于保证通过该接触电阻监测器件测得的像素电极层与源漏极金属层之间的接触电阻准确性和稳定性。