[发明专利]磁存储用磁性复合膜及其制备方法在审
申请号: | 202010379882.2 | 申请日: | 2020-05-08 |
公开(公告)号: | CN111519152A | 公开(公告)日: | 2020-08-11 |
发明(设计)人: | 沈文齐;王文爽 | 申请(专利权)人: | 蚌埠泰鑫材料技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/08;C23C14/18;C23C14/16;G11B5/851;G11B5/72 |
代理公司: | 昆明合众智信知识产权事务所 53113 | 代理人: | 汤文旋 |
地址: | 233000 安徽省蚌埠市蚌山*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: |
本发明公开一种磁存储用磁性复合膜及其制备方法:该磁性复合膜以非磁性硅晶片为衬底,在其表面依次设置软磁层、合金硬磁层、钡铁氧体硬磁层;所述合金硬磁层为具有垂直磁各向异性的[FePt/FeCo] |
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搜索关键词: | 存储 磁性 复合 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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