[发明专利]测量系统和方法在审
| 申请号： | 202010380355.3 | 申请日： | 2020-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN113624156A | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | 陈鲁;杨乐;马研忠;张威;李小辉 | 申请（专利权）人： | 深圳中科飞测科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;H01L21/66 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种测量系统和方法，涉及测量技术领域，所述测量系统包括：光源，被配置为产生原始光束，其中，从被测物体的被测区域返回的所述原始光束为返回光束；光学组件，被配置为根据所述返回光束得到待处理光束，其中，至少部分所述待处理光束为第一光束；第一探测装置，被配置为根据所述第一光束得到第一探测信息；移动设备，被配置为使所述光学组件与所述被测物体沿所述光学组件的光轴方向相对移动；和处理系统，被配置为根据多个第一时刻中每个第一时刻下的所述第一探测信息，确定在每个第一时刻下所述光学组件与所述被测物体的固定平面之间的实际距离。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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