[发明专利]微波器件的制造设备和制造方法有效
| 申请号： | 202010381497.1 | 申请日： | 2020-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN113621929B | 公开（公告）日： | 2023-04-11 |
| 发明（设计）人： | 杨志刚;王志建;郭久林 | 申请（专利权）人： | 武汉光谷创元电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/48;C23C14/35;C23C14/22;C23C14/20;H01P11/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 刘林华;金飞 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市东湖开发区*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微波器件的制造设备和制造方法。微波器件的制造设备(1)包括：夹具(10，10')，所述夹具(10，10')包括能够围绕第一轴线(A1)旋转的基座(11)、以及能够围绕第二轴线(A2)摆动的托架(12)，所述托架(12)连接至所述基座(11)以用于保持绝缘基体(40)，其中所述第一轴线(A1)与所述第二轴线(A2)相交；用于朝所述绝缘基体(40)释放金属离子的源头(20)；以及控制器(30)，所述控制器(30)耦合至所述夹具(10，10')和所述源头(20)，并且构造成控制所述夹具(10，10')的运动模式和/或所述源头(20)的角度，使得所述绝缘基体(40)从多个角度接收所述金属离子，并在所述绝缘基体(40)的所有表面(41)上形成金属层(50)。 | ||
| 搜索关键词： | 微波 器件 制造 设备 方法 | ||
【主权项】：
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