[发明专利]N-Si基板的抛光工艺在审
| 申请号： | 202010381709.6 | 申请日： | 2020-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN111531412A | 公开（公告）日： | 2020-08-14 |
| 发明（设计）人： | 黄安基;黄荣厦 | 申请（专利权）人： | 福建省南安市宏炜新材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B08B3/12;H05K3/00 |
| 代理公司： | 温州联赢知识产权代理事务所(普通合伙) 33361 | 代理人： | 吴娇 |
| 地址： | 362300 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： |
本发明公开了N‑Si基板的抛光工艺，包括如下步骤：A、粗抛光；B、精抛光；C、化学机械抛光；D、对N‑Si基板进行进行切割；E、将基板放置于装有丙酮溶液的烧杯中；F、将基板放置于装有甲醇溶液的烧杯中；G、将N‑Si基板放置于装有去离子水的烧杯中；H、检查基板表面是否有残留物；I、使用氮气将基板表面吹干，放置烤箱中烘烤10分钟，即完成抛光工艺。本发明中，采用PH为9.5，浓度为15％，粒径为30nm的硅溶液，以H |
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| 搜索关键词： | si 抛光 工艺 | ||
【主权项】：
暂无信息
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