[发明专利]一种反射光相位信息表征装置及其测量方法

摘要

本发明公开一种反射光相位信息表征装置及其测量方法，该装置分为左臂和右臂，包括：光源、起偏器、第一1/4波片、第一偏振分束器、第一样品台、第二偏振分束器、第一反射镜、第二样品台、第二反射镜、第二1/4波片、检偏器、探测器。左、右臂围绕垂直样品台的中心轴旋转可改变入、出射角度。光束经过第一偏振分束器后分为光路1与光路2，汇聚于第二偏振分束器。本装置可同时测量样品不同入射角度条件下反射光的强度和相位信息，即可获取反射光谱的全面信息，为超构材料、光学天线、等离激元阵列等人工微纳结构以及光学薄膜、自然材料等体系提供一种实用的光谱检测技术。