[发明专利]一种准中性等离子体束流引出装置在审
| 申请号： | 202010385893.1 | 申请日： | 2020-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN111526654A | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 曹勇;杨智;朱雨;罗垞霖;龚科瑜 | 申请（专利权）人： | 航宇动力技术（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/54 | 分类号： | H05H1/54;H05H1/02 |
| 代理公司： | 深圳市添源知识产权代理事务所(普通合伙) 44451 | 代理人： | 罗志伟 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区桃源*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种准中性等离子体束流引出装置，包括安装于等离子体源容器出口处的栅极系统和电源系统，所述栅极系统包括层叠组装的屏栅和加速栅，所述栅极系统、电源系统、等离子体串联组成闭合回路。本发明的有益效果是：提供了准中性等离子体束流引出装置，该装置可以同时引出等量的电子和离子，获得准中性等离子体束流，不需要额外的中和器，同时减少了相应的配电和配气系统，极大简化了准中性等离子体束流引出系统，提高了效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 中性 等离子体 引出 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于航宇动力技术（深圳）有限公司，未经航宇动力技术（深圳）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010385893.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
