[发明专利]用于翘曲晶圆加工的同轴视觉激光输出装置在审
| 申请号： | 202010386017.0 | 申请日： | 2020-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN111421249A | 公开（公告）日： | 2020-07-17 |
| 发明（设计）人： | 蒋兴桥;曹正第;马岩;刘荒;李东旭;陈立新;张志勇;韩华超;尹宁;李超;王建新 | 申请（专利权）人： | 沈阳仪表科学研究院有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/38 | 分类号： | B23K26/38;B23K26/064;B23K26/03;B23K26/14;H01L21/683 |
| 代理公司： | 沈阳亚泰专利商标代理有限公司 21107 | 代理人： | 郭元艺 |
| 地址： | 110043 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属激光划切晶圆技术领域，尤其涉及一种用于翘曲晶圆加工的同轴视觉激光输出装置，包括折射腔体（1）、反射镜架（2）、聚焦镜筒（4）、显微镜筒（10）、工业相机（11）及激光器装配机构（17）；反射镜架（2）中心与激光器装配机构（17）的激光束入射中心共线；显微镜筒（10）固定设于折射腔体（1）顶部之上；工业相机（11）固定设于显微镜筒（10）之上；可见光光束经反射镜架（2）中心，经显微镜筒（10）放大，进入工业相机（11）靶面；聚焦镜筒（3）固定设于折射腔体（1）底部。本发明结构稳定，翘曲晶圆上料吸附率高，加工效率高，废品率低，具有较高可靠性可解决设备振动对视觉激光焦点偏移影响。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 翘曲晶圆 加工 同轴 视觉 激光 输出 装置 | ||
【主权项】：
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