[发明专利]高效P型晶体硅太阳能电池及其制备方法

摘要

本发明提供了一种高效P型晶体硅太阳能电池及其制备方法，属于半导体技术领域。它包括硅片，在硅片的正面依次沉积有掺磷N型扩散层、二氧化硅薄膜、掺杂型多晶硅薄膜、透明导电薄膜和减反膜，在硅片的背面沉积有钝化膜。本发明解决了电池正面的发射极及金属接触区的复合电流密度偏高，同时减弱多晶硅薄膜正面吸光性问题，提供了一种兼顾吸光性及钝化性能的高效P型电池及其制备方法。