[发明专利]一种基于碳化硅衬底的生物芯片制备方法在审
申请号: | 202010386497.0 | 申请日: | 2020-05-09 |
公开(公告)号: | CN111518670A | 公开(公告)日: | 2020-08-11 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨鹏谦科技有限公司 |
主分类号: | C12M1/00 | 分类号: | C12M1/00;C12M1/38;C12M1/36;C12M1/34;C12Q1/6837;B01L3/00 |
代理公司: | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 | 代理人: | 韩立岩 |
地址: | 150000 黑龙江省哈尔滨市南岗区*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | 一种基于碳化硅衬底的生物芯片制备方法,属于生物芯片领域。本发明一种基于碳化硅衬底的生物芯片,包括石墨烯覆膜、碳化硅衬底基底和生物芯片单元,石墨烯覆膜附着在碳化硅衬底基底上,生物芯片单元集成在石墨烯覆膜上,其制备方法包括:步骤a,在碳化硅衬底基底上附着上石墨烯覆膜;步骤b,采用切割、研磨、抛光工艺在步骤a中加工好的碳化硅衬底基底上加工制作微流道;步骤c,在步骤b加工出来的微流道上固定安装基因探针和化学修饰单元;步骤d,采用切割、研磨、抛光工艺在步骤c中加工好的石墨烯覆膜上加工制作生物芯片单元,本发明制备步骤巧妙,制备工艺简单,提高了生产效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 碳化硅 衬底 生物芯片 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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