[发明专利]微机电系统压力传感器及其制造方法在审
| 申请号： | 202010387590.3 | 申请日： | 2020-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN113620235A | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | 刘迪;李刚;胡维 | 申请（专利权）人： | 苏州敏芯微电子技术股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/04 | 分类号： | B81B7/04;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京布瑞知识产权代理有限公司 11505 | 代理人： | 孟潭 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种微机电系统压力传感器及其制造方法，该微机电系统压力传感器包括第一电容，第一电容包括：相对设置的第一电极和第二电极，第一电极具有感测区域；过滤部，设置在感测区域的与空气连通的一侧。通过在感测区域上设置过滤部能够提高微机电系统压力传感器的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 压力传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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