[发明专利]一种实验室用真空涂布台在审
申请号: | 202010388191.9 | 申请日: | 2020-05-09 |
公开(公告)号: | CN111389668A | 公开(公告)日: | 2020-07-10 |
发明(设计)人: | 徐力;崔庆珑 | 申请(专利权)人: | 威士达半导体科技(张家港)有限公司 |
主分类号: | B05C11/00 | 分类号: | B05C11/00;B05D3/04 |
代理公司: | 苏州启华专利代理事务所(普通合伙) 32357 | 代理人: | 徐伟华 |
地址: | 215634 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种实验室用真空涂布台,包括机架、沿前后方向安装在机架上的涂布台、安装在涂布台上的线棒,所述涂布台以其前端的宽边为支撑边旋转的安装在所述机架上,涂布时,涂布台的后端翘起,涂布台的台面与水平面间呈一锐角设置,所述涂布台内设置有真空腔,涂布台的台面上设置有若干与所述真空腔内腔相通的真空孔洞,所有所述真空孔洞沿台面的边缘一周间隔分布,所述真空孔洞的大小控制在5mm±0.5mm间,相邻两个所述真空孔洞间的间距控制在10mm±1mm间。该涂布台模拟实际涂布情况,测试数据与实际涂布机的涂布数据更为接近,从而使得实验数据更具参考性。 | ||
搜索关键词: | 一种 实验室 真空 涂布台 | ||
【主权项】:
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