[发明专利]掩膜版有效
| 申请号： | 202010388822.7 | 申请日： | 2020-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN111394692B | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 赵钰;徐鹏 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 孟庆莹 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了掩膜版。该掩膜版包括：矩形区；两个夹爪区，两个所述夹爪区分别位于所述矩形区相对的两个边上，所述夹爪区具有彼此正对设置的第一边和第三边、第二边和第四边，所述第一边位于所述矩形区的边上，第二边和第四边之间的最小水平间距小于所述第一边的边长。由此，在对掩膜版进行张网时，可以有效改善掩膜版的平坦度和下垂量；而且相比现有的结构的掩膜版，本申请的掩膜版的夹爪区的数量较少，可以减弱张网使得复杂度和简化仿真；同时，可以突破对掩膜版尺寸的限定，设计尺寸更大的掩膜版。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜版 | ||
【主权项】：
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