[发明专利]一种陶瓷衬底的高比表面积硼掺杂金刚石电极及其制备方法和应用

摘要

本发明公开了一种陶瓷衬底的高比表面积硼掺杂金刚石电极及其制备方法和应用，所述硼掺杂金刚石电极包括陶瓷衬底以及设置于陶瓷衬底表面的硼掺杂金刚石层，所述硼掺杂金刚石层，由下至上，依次包括硼含量依次减少的硼掺杂金刚石底层、硼掺杂金刚石过渡层、硼掺杂金刚石外层。相对于金属材料，陶瓷材料具有更低的热膨胀系数和热稳定性，因此在其表面设置硼掺杂金刚石层，可以具有极佳的结合性能，然而陶瓷材料大多数导电性不足，本发明中在陶瓷衬底表面设置硼含量梯度减少的硼掺杂金刚石层，在与衬底接触的最底层硼含量最高，导电性最强，从而可以赋予陶瓷材料较高的导电性，拓宽陶瓷材料在BDD衬底材料领域的应用范围。