[发明专利]吸收性缺陷单光束光热测量装置和测量方法在审
| 申请号： | 202010391287.0 | 申请日： | 2020-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN111426700A | 公开（公告）日： | 2020-07-17 |
| 发明（设计）人： | 刘世杰;倪开灶;邵建达;王微微;徐天柱;李英甲;鲁棋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所;上海恒益光学精密机械有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/17 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种吸收性缺陷单光束光热测量装置和测量方法，该装置包括共光路型和非共光路型结构。本发明光路结构简单，便于安装调试。测量结果稳定，避免环境振动、样品倾斜导致的测量信号异常。通过探测光斑边缘的光束的功率变化，系统的测量灵敏度得到显著提升。 | ||
| 搜索关键词： | 吸收性 缺陷 光束 光热 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
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