[发明专利]Micro-LED芯片的制备方法、结构及显示终端有效
申请号: | 202010401581.5 | 申请日: | 2020-05-12 |
公开(公告)号: | CN111564536B | 公开(公告)日: | 2021-11-05 |
发明(设计)人: | 郭向茹;周忠伟;常伟;毛林山;方荣虎;余龙江 | 申请(专利权)人: | 创维液晶器件(深圳)有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L33/32;H01L33/44 |
代理公司: | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人: | 许峰 |
地址: | 518057 广东省深圳市宝安区石岩街道塘*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种Micro‑LED芯片的制备方法、结构及显示设备,其中,所述Micro‑LED芯片的制备方法包括以下步骤:在真空设备中制备一GaN基外延片;在所述GaN基外延片的表面沉积ITO层;对所述ITO层的周缘进行遮挡后,对所述ITO层进行氧离子轰击;将经过氧离子轰击后的ITO层连接第一电极,所述GaN基外延片连接第二电极,制成Micro‑LED芯片。本发明技术方案旨在降低Micro‑LED芯片周缘漏电的几率。 | ||
搜索关键词: | micro led 芯片 制备 方法 结构 显示 终端 | ||
【主权项】:
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