[发明专利]一种对准图像获取方法、装置及系统

摘要

本申请实施例提供了一种对准图像获取方法、装置及系统，可以利用红外光源向待对准晶圆发射红外信号，待对准晶圆中形成有对准标记，利用红外摄像头接收经待对准晶圆反射的红外信号，以形成待对准晶圆的第一拍摄图像，由于第一拍摄图像是利用红外光源和红外摄像头得到的，而红外光具有比可见光更强的穿透能力，在可见光不能穿过一些膜层时，红外光可以穿过，因此得到的第一拍摄图像相比较于利用可见光得到的图像更能体现待对准晶圆中的对准标记的位置信息，因此利用第一拍摄图像实现待对准晶圆的对准时，能够提高拍摄图像中对准标记的可识别度，解决部分晶圆对准失效的问题，实现更多种类的待对准晶圆的对准。