[发明专利]一种柔性传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202010403586.1 | 申请日： | 2020-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN111704101A | 公开（公告）日： | 2020-09-25 |
| 发明（设计）人： | 唐思琪;张青竹;张兆浩;张楠;魏千惠;张静;闫江;王文武 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00;A61B5/00;A61B5/0205;A61B5/0402;B82Y15/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 | 代理人： | 王胜利 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种柔性传感器及其制备方法，涉及柔性传感器领域，以解决柔性传感器形变不够、灵敏度低和一致性低的问题。所述柔性传感器包括：柔性基底以及形成在所述柔性基底上的纳米线阵列；所述纳米线阵列为聚二甲基硅氧烷转移法转移的纳米线阵列。所述柔性传感器制备方法包括上述技术方案所提的。本发明提供的柔性传感器用于检测信号。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院微电子研究所，未经中国科学院微电子研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010403586.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种LED产品的胶粉配比推荐方法
- 下一篇：一种多套件螺栓组装设备
