[发明专利]micro LED巨量转移装置及micro LED巨量转移方法有效
| 申请号： | 202010404144.9 | 申请日： | 2020-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN111584689B | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 樊勇 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L33/48;H01L21/67 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 唐秀萍 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种micro LED巨量转移装置及其转移方法，micro LED巨量转移装置，包括：光照模块、转移模块、清洗模块以及干燥模块，光照模块设置在整个装置的最上面，光照模块内设置有掩膜板；转移模块设置在所述光照模块的下方，所述转移模块内包括：蓝宝石基板、micro LED芯片、传送带以及载板，待转移的所述micro LED芯片正对于所述掩膜板的开口处设置；清洗模块包括：传送带、清洗溶液和清洗喷头；所述干燥模块包括：传送和干燥源；有益效果：转移时，将掩膜板的开口处正对于待转移的所述micro LED芯片，可以一次性转移多个micro LED芯片，实现micro LED芯片的巨量转移，提升micro LED的转移效率；同时，所述传送带上设置有粘胶层，减少了与所述micro LED芯片接触的次数，提高了micro LED巨量转移良率。 | ||
| 搜索关键词： | micro led 巨量 转移 装置 方法 | ||
【主权项】：
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