[发明专利]高压气体采样试验装置及采样试验方法在审
| 申请号： | 202010404156.1 | 申请日： | 2020-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN111665292A | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 罗艳;吴晓斌;王魁波;谢婉露;李慧 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01N27/62 | 分类号： | G01N27/62;G01N1/24;F17D3/10;F17D3/01;F17D1/065 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 付婧 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请实施例中提供了一种高压气体采样试验装置及采样试验方法，高压气体采样试验装置包括真空过渡组件、真空测量组件以及采样通道组件；真空过渡组件用于减压获取一定气压的待测高压气体；真空测量组件用于测量所述待测高压气体的气体组成；采样通道组件用于连接所述真空过渡组件和/或真空测量组件；其中，所述采样通道组件包括并联的以下采样通道支路中的至少两种：小孔采样通道支路、毛细管采样通道支路以及采样阀通道支路。通过本申请的高压气体采样试验装置及采样试验方法可以系统地研究分析某种或者某几种气体采样方式对气体成分分析的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 高压 气体 采样 试验装置 试验 方法 | ||
【主权项】：
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