[发明专利]钴基Heusler合金结构及提升其有序化的制备方法有效
| 申请号： | 202010404674.3 | 申请日： | 2020-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN111549317B | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 陈嘉民;邹旭东;薛宁;祁志美 | 申请（专利权）人： | 中国科学院空天信息创新研究院 |
| 主分类号： | C23C14/14 | 分类号： | C23C14/14;C23C14/35;C23C14/58;H01F41/18;H01F41/22;C22C19/07 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 孙蕾 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种提升钴基Heusler合金结构有序化的制备方法，包括以下步骤：样品基板清洗；低蒸汽压元素与钴基Heusler合金进行共溅射成膜；高真空退火处理。本发明提出了使用低蒸汽压元素掺杂后退火的方法来提高钴基Heusler合金薄膜材料的性能，使其具有高结晶度、低温有序化、高自旋极化率的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 钴基 heusler 合金 结构 提升 有序 制备 方法 | ||
【主权项】：
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