[发明专利]中远红外雪崩光电探测器

摘要

本发明公开了一种中远红外雪崩光电探测器，包括：至下而上依次连接的衬底、缓冲层、下欧姆接触层、倍增层、电荷层、渐变层、吸收层和上欧姆接触层，且衬底和缓冲层的掺杂类型为n型；或至下而上依次连接的衬底、缓冲层、第二欧姆接触层、吸收层、渐变层、电荷层、倍增层和第一欧姆接触层，且所述衬底和缓冲层的掺杂类型为p型；其中，倍增层为AlAsxSb1‑x材料，且0.12≤x≤0.18，渐变层为多个(InAs)m/(AlAs0.15Sb0.85)n量子阱结构或InyAl1‑yAszSb1‑z材料，吸收层的探测波长为中远红外波段。本发明提供的该中远红外雪崩光电探测器，可以阻挡暗电流，降低噪声，无需降温装置，提高器件的工作温度，降低成本，使用方便。