[发明专利]一种富勒烯/非晶碳氢复合薄膜的制备及在真空低温环境中的应用有效
| 申请号： | 202010406255.3 | 申请日： | 2020-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN111455315B | 公开（公告）日： | 2021-12-31 |
| 发明（设计）人： | 吉利;李红轩;裴露露;刘晓红;周惠娣;陈建敏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35;C23C14/02 |
| 代理公司： | 兰州智和专利代理事务所(普通合伙) 62201 | 代理人： | 张英荷 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种含富勒烯纳米结构的非晶碳氢复合薄膜，是采用闭合磁场‑多靶反应磁控溅射沉积的制备技术，以石墨为溅射靶材，氩气为溅射气源，碳氢气体为反应气源，通过控制碳氢气体流量、石墨靶溅射电流，在基体表面制得在非晶碳氢薄膜中镶嵌富勒烯结构的纳米复合薄膜。该薄膜具有良好的机械力学和化学稳定性能，同时在真空低温环境中具有优异的润滑和耐磨性能，可应用于氢氧发动机、超导装置、空间装备、压缩机等低温运动部件表面的长寿命润滑薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 富勒烯 碳氢 复合 薄膜 制备 真空 低温 环境 中的 应用 | ||
【主权项】：
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