[发明专利]一种二硫化钼纳米带及其制备方法、场效应晶体管的电极材料在审
申请号: | 202010406348.6 | 申请日: | 2020-05-14 |
公开(公告)号: | CN111540786A | 公开(公告)日: | 2020-08-14 |
发明(设计)人: | 杨雷;袁雪芹;张甲甲;刘孝武;刘仁勇;刘坤 | 申请(专利权)人: | 皖西学院 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L29/40;H01L29/43;B82Y30/00 |
代理公司: | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人: | 刘兵 |
地址: | 237012 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: |
本发明涉及无机纳米材料技术领域,具体涉及一种二硫化钼纳米带及其制备方法、场效应晶体管的电极材料,所述二硫化钼纳米带的制备方法,包括以下步骤:在还原氛围的气流中,将硫氰酸盐置于所述气流的上游端,将钼酸盐置于所述气流的下游端,并在所述钼酸盐的上方悬空设置一衬底,接着在150~600℃下煅烧45‑90min。本发明采用气相沉积法在SiO |
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搜索关键词: | 一种 二硫化钼 纳米 及其 制备 方法 场效应 晶体管 电极 材料 | ||
【主权项】:
暂无信息
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