[发明专利]金属化合物及使用其制造半导体器件的方法在审
| 申请号： | 202010407574.6 | 申请日： | 2020-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN111943978A | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 柳承旻;斋藤昭夫;小出幸宜;山下敦史;原野一树;朴圭熙;李沼姈;林载顺;曹仑廷 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社;株式会社ADEKA |
| 主分类号： | C07F9/00 | 分类号： | C07F9/00;H01L51/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 金拟粲 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本文中描述了金属化合物和使用其制造半导体器件的方法。所述金属化合物包括化学式1的材料，其中M为Nb或Ta；R为取代或未取代的C3‑C10烷基；和X |
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| 搜索关键词： | 金属 化合物 使用 制造 半导体器件 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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