[发明专利]一种靶材装置及其制作方法在审
| 申请号： | 202010408391.6 | 申请日： | 2020-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN111575662A | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 胡小波 | 申请（专利权）人： | TCL华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 唐秀萍 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种靶材装置及其制作方法，所述靶材装置包括靶材本体、背板、以及位于所述靶材本体和所述背板之间的绑定层；所述背板内设有多个冷却管路；所述绑定层中掺杂有导热颗粒。本申请通过在绑定层中掺杂导热颗粒，提高了绑定层的导热效果，有利于提高靶材本体的降温速度，从而降低了靶材本体在磁控溅射过程中脱靶和开裂的风险，且有利于提高溅射功率，从而提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 装置 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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