[发明专利]一种表面微结构切磨一体化加工系统与方法

摘要

本发明公开一种表面微结构切磨一体化加工系统与方法，属于表面微结构超精密加工领域。所述系统包括磨床、刀具盘和微纳定位平台；微纳定位平台包括转动平台和二维平台；刀具盘包括飞刀盘、金刚石笔和磨抛笔；磨床和微纳定位平台有效集成，通过控制系统实现微纳定位平台与磨床各运动轴协调运动；采用金刚石笔和磨抛笔成180°配置的刀具盘创成微结构，金刚石笔进行切削加工，磨抛笔基体表面包裹剪切增稠磨料层，利用其剪切增稠原理进行“高剪低压”磨抛光整，实现复杂表面微结构的切磨一体化高精、高效加工；本发明可以有效改善传统机械微纳加工效率低、微结构特征质量差等问题，实现复杂表面微结构的高精、高效一次成形。