[发明专利]一种粒子束显微镜的样品除污方法有效
| 申请号： | 202010410016.5 | 申请日： | 2020-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN111530851B | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | 杨润潇;李帅;何伟 | 申请（专利权）人： | 聚束科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B6/00;B08B7/00;H05F3/00;H01J37/26 |
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| 地址： | 100176 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种粒子束显微镜的样品除污方法，接通电源后，送样装置开始向预抽室送样；除静电吹扫装置上的排气口向下排出气流，射至样品表面，气流中的离子与样品表面吸附的微粒所带电荷发生中和，使一部分微粒失去静电吸引力后被所述气流带走；以及所述预抽室内的高压电极启动，产生一个高压静电场，部分微粒在高压静电场的作用下发生静电感应作用吸到所述高压电极上，本发明采用的清洗方法先采用除静电吹扫和高压电极吸附的方法除去大部分的样品表层微粒，再采用真空环境下的等离子清洗，提高了清洗控制的精准度和提高了清洗效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 粒子束 显微镜 样品 方法 | ||
【主权项】：
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