[发明专利]一种高压功率半导体器件在审
申请号: | 202010410064.4 | 申请日: | 2020-05-15 |
公开(公告)号: | CN113675257A | 公开(公告)日: | 2021-11-19 |
发明(设计)人: | 金锐;刘江;吴军民;高明超;张金平;张波 | 申请(专利权)人: | 全球能源互联网研究院有限公司;国家电网有限公司;国网江苏省电力有限公司电力科学研究院;电子科技大学 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06 |
代理公司: | 北京安博达知识产权代理有限公司 11271 | 代理人: | 徐国文 |
地址: | 102209 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及一种高压功率半导体器件结终端结构,包括:元胞结构和终端结构;在所述元胞结构上部具有弧形槽,所述终端结构包括多种不同导电类型的掺杂条;各不同导电类型的掺杂条相间设置于所述元胞结构上部的槽中,本发明有效解决了传统结终端扩展终端结构的工艺容差小,工艺复杂,终端耐压小,可靠性低的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 高压 功率 半导体器件 | ||
【主权项】:
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