[发明专利]XXY对位平台检验方法在审
| 申请号： | 202010411379.0 | 申请日： | 2020-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN113670230A | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | 邱毓英;张嘉杰;林柄宏 | 申请（专利权）人： | 全研科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/27 | 分类号： | G01B11/27 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 周鹤 |
| 地址： | 中国台湾彰化*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种XXY对位平台检验方法，该XXY对位平台是设置于一视觉对位系统下方，且该XXY对位平台上设置一检验片，并经由视觉对位系统的电子摄影机记录该检验片随着该XXY对位平台位移状态的影像，再利用视觉对位系统内建的检测软件进行分析、比对，以取得该XXY对位平台位移数值是否落于精度等级范围内，借此通过非接触式的视觉对位系统进行XXY对位平台的检测，不仅具有X轴向及Y轴向的位移检测外，更能取得斜向位移的检测数据，且相较接触式检验方式更能有效避免不可预期的误差情况产生，有助于提升该XXY对位平台的检验精度，兼具实用性的增进。 | ||
| 搜索关键词： | xxy 对位 平台 检验 方法 | ||
【主权项】：
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