[发明专利]一种体声波器件及其制作方法、滤波装置在审
| 申请号： | 202010413621.8 | 申请日： | 2020-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN111431500A | 公开（公告）日： | 2020-07-17 |
| 发明（设计）人： | 彭波华;李平;胡念楚;贾斌 | 申请（专利权）人： | 开元通信技术（厦门）有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/02;H03H9/13;H03H9/17;H03H9/54 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 田媛媛 |
| 地址： | 361026 福建省厦门市海沧区中国（福建）自由贸易*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种体声波器件，包括由下至上依次叠加的衬底、下电极层、压电层、上电极层；衬底具有预设形状的空腔，空腔的深度小于衬底的厚度，下电极层、压电层、上电极层具有多个贯通的横截面为沟槽状的第一释放孔，且第一释放孔对应预设形状的边缘。本申请体声波器件的下电极层、压电层、上电极层中具有多个贯通的第一释放孔，第一释放孔的横截面为沟槽状，面积大，且对应空腔的边缘，通过第一释放孔对牺牲层进行释放时可以有效加快牺牲层的刻蚀速度，且由于每个第一释放孔的横截面积大，还可以保证牺牲层的刻蚀无残留，进而保证体声波器件性能不会衰减。本申请还提供一种具有上述优点的体声波器件制作方法和滤波装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 声波 器件 及其 制作方法 滤波 装置 | ||
【主权项】：
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