[发明专利]有机膜形成用组成物、图案形成方法、以及聚合物在审
| 申请号： | 202010413700.9 | 申请日： | 2020-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN111948903A | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 郡大佑;中原贵佳;泽村昂志;佐藤裕典;山本靖之 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/11;G03F7/09;C08G61/02 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及有机膜形成用组成物、图案形成方法、以及聚合物。本发明提供一种有机膜形成用组成物，其含有碳含量高而有热硬化性的聚合物，会展现高蚀刻耐性、优良的扭曲耐性，并提供使用其的图案形成方法及适合其的聚合物。有机膜形成用组成物包含具下列通式(1A)或(1B)表示的部分结构的聚合物及有机溶剂。 |
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| 搜索关键词： | 有机 形成 组成 图案 方法 以及 聚合物 | ||
【主权项】：
暂无信息
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