[发明专利]基于并五苯有机场效应晶体管与PVDF纳米柱相耦合的柔性智能压电传感器有效
申请号: | 202010416810.0 | 申请日: | 2020-05-18 |
公开(公告)号: | CN111554670B | 公开(公告)日: | 2022-03-29 |
发明(设计)人: | 张丛丛;刘宏;王建;孙铭远 | 申请(专利权)人: | 济南大学 |
主分类号: | H01L25/16 | 分类号: | H01L25/16;H01L21/50 |
代理公司: | 济南誉丰专利代理事务所(普通合伙企业) 37240 | 代理人: | 薛鹏喜 |
地址: | 250000 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明公开了基于并五苯有机场效应晶体管与PVDF纳米柱相耦合的柔性智能压电传感器及其制备方法,所述方法为:先制备并五苯有机场效应晶体管作为压力传感器,在制备一面带有纳米柱的PVDF柔性材料,在PVDF柔性材料两面镀Au薄膜得到PVDF柔性压电材料作为压电信号发生单元,再使用导电材料使压电信号发生单元与压力传感器之间形成闭合回路。通过测试并五苯有机场效应晶体管的电学特性得到器件的转移特性曲线、输出特性曲线、器件工作的线性区域和饱和区域来知晓了器件的迁移率和开关比;通过测试不同质量的砝码作用下柔性智能压电传感器的电学特性得到最低检测极限和灵敏度,以及在人手腕处不同弯曲角度的电学特性的线性关系。 | ||
搜索关键词: | 基于 有机 场效应 晶体管 pvdf 纳米 耦合 柔性 智能 压电 传感器 | ||
【主权项】:
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