[发明专利]一种散热涂层的制备方法有效
| 申请号： | 202010417846.0 | 申请日： | 2020-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN111424243B | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 廖斌;欧阳潇;欧阳晓平;罗军;陈琳;庞盼;张旭;吴先映;英敏菊 | 申请（专利权）人： | 北京师范大学 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/22;C23C14/14;C23C14/06;C23C14/02;C23C14/58 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 刘潇 |
| 地址： | 100875 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种散热涂层的制备方法，包括：对基体进行表面清洗；随后对基体进行多弧技术表面沉积Al，紧接着进行400‑600℃加热真空保温1‑4h，形成渗铝层；随后进行磁过滤沉积Al或Zn等；随后在氧气气氛下进行200‑800℃下充分氧化；随后通过磁过滤沉积AlN涂层；最后在表面沉积铜层形成覆铜板。本发明实施例提供的方法，通过多弧沉积、磁过滤沉积以及高温渗铝、高温氧化等过程相结合的方法制备的致密的高绝缘高导热涂层，明显提高了基体作为覆铜板的散热性能。因其方法简单、易操作，且成本低、效率高，非常适合工业化大批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 散热 涂层 制备 方法 | ||
【主权项】：
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