[发明专利]一种基于场效应管的二硫化钼拉力探测器在审
| 申请号： | 202010419270.1 | 申请日： | 2020-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN111551292A | 公开（公告）日： | 2020-08-18 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 西安柯莱特信息科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/16 | 分类号： | G01L1/16;H01L29/423;H01L29/78 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 710000 陕西省西安市高新区高*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于场效应管的二硫化钼拉力探测器，将二硫化钼层、弹性层、金属层用作场效应管的栅极。在拉力作用下，因为压电效应，二硫化钼层的两侧出现异号电荷，异号电荷的数量与拉力相关，该电荷通过电荷之间的耦合在金属层与二硫化钼层之间形成电场，该电场改变沟道中载流子的浓度，引起场效应管的电信号改变，通过测试该电信号的实现拉力的探测。传统基于二硫化钼层的力学探测器均是测量二硫化钼层两侧的电信号，探测灵敏度低。本发明将二硫化钼层聚集的电荷用于场效应管的栅极，利用了场效应管对栅极所产生电场的灵敏性，构建了基于二硫化钼层的更高灵敏度探测器，基于该原理的力学探测器在力信号探测领域具有较好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 场效应 二硫化钼 拉力 探测器 | ||
【主权项】：
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