[发明专利]光刻设备及其光源位置监控方法在审
| 申请号： | 202010420407.5 | 申请日： | 2020-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN113687574A | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 梁学玉 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 | 代理人： | 成丽杰 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种光刻设备及其光源位置监控方法，该光刻设备包括：固定卡槽，用于安装固定所述光源；感应模块，用于感应所述光源与所述固定卡槽之间的距离信息；提示模块，用于根据所述距离信息，发出提示信息；判断模块，用于根据所述提示信息，判断所述光源的安装状态。本发明实施例提供的技术方案，可实时且较为准确地感知光源的状态，为光源安装、光源维护以及光源使用过程中的状态监控提供参考，从而有利于提高设备工程师的作业安全性和安装便捷性。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 设备 及其 光源 位置 监控 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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