[发明专利]一种智能清洗薄膜沉积腔室的方法及系统在审
| 申请号： | 202010423042.1 | 申请日： | 2020-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN113686802A | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 邹荣园;邹志文;崔虎山;范思大;丁光辉;吴志浩;许开东 | 申请（专利权）人： | 江苏鲁汶仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/3563 | 分类号： | G01N21/3563;H01J37/32 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 马严龙 |
| 地址： | 221300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种智能清洗薄膜沉积腔室的方法及系统，该系统包括采集模块、处理分析模块和清洗模块；采集模块通过傅里叶红外光谱仪采集腔室内部含硅元素化学键的红外光谱图；处理分析模块根据红外光谱分析结果得出含硅元素化学键的实际强度值，通过比较实际强度值与预设强度值的大小，处理分析模块做出是否需要清洗腔室的指示，清洗模块针对各个含硅元素化学键进行清洗工作。本发明提供的智能清洗薄膜沉积腔室的方法及系统，保证腔室在工作状态下保持实时的清洁环境，有效地控制每片晶圆在工艺过程中腔室环境的一致性，显著提升薄膜沉积设备在连续晶圆生产中的工艺稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 智能 清洗 薄膜 沉积 方法 系统 | ||
【主权项】：
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