[发明专利]一种通过金刚线切割硅片制备电池片的加工工艺

摘要

本发明公开了一种通过金刚线切割硅片制备电池片的加工工艺，选取金刚线切割得到的多晶硅片为基片，将基片依次放入硝酸、氢氟酸中进行清洗抛光，去除基片表面损伤层；再在基片正表面制备光刻掩膜层，再通过蒸汽制绒法制绒，接着在基片正表面通过POCL3液态扩散源热扩散法制备P‑N结，最后在基片正表面进行湿法刻蚀，镀减反射膜，印刷烧结，得到成品；本发明公开了一种通过金刚线切割硅片制备电池片的加工工艺，工艺设计合理，操作简单可控，选用金刚线切割的硅片作为基片进行加工，制备得到电学性能优异的电池片，从而提高太阳能电池的开路电压，短路电流及填充因子，提高转换效率，实现降本提效的目的，具有较高的实用性。