[发明专利]一种应用于多脉冲激光共沉积的靶材

摘要

本发明提供了一种应用于多脉冲激光共沉积的靶材，包括可被独立拆装的圆形靶材模块和环形靶材模块，所述圆形靶材模块置于环形靶材模块中间固定成圆形靶材，圆形靶材模块和环形靶材模块的侧壁设有贯通孔，贯通孔内设有贯通柱，贯通柱的两端露出设置。本发明所提供的靶材结构，包括至少两个可被独立拆装的靶材模块，且该结构与现有的PLD靶托配合使用，解决了多部分可组装靶材在PLD设备中的脱落问题，这样，当某一个靶材模块随着工艺的进行己经消耗至需要更换的程度时，可以仅对该靶材模块进行更换，而其它的靶材模块则可被继续使用。