[发明专利]一种多层陶瓷基板气密性检测装置有效
| 申请号： | 202010424528.7 | 申请日： | 2020-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN111426431B | 公开（公告）日： | 2022-06-17 |
| 发明（设计）人： | 王明艳;方美清;姜为青;李明 | 申请（专利权）人： | 盐城工业职业技术学院 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20;B25J15/06;B25J11/00;B65G49/06 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 石艳红 |
| 地址： | 224000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多层陶瓷基板气密性检测装置，包括定位上料装置、机械手、对中定位装置、真空接头、真空橡皮、喷枪和质谱检漏仪；定位上料装置包括上料筒和顶升板；若干块待测的多层陶瓷基板垂直堆叠放置在顶升板顶部；真空橡皮具有空腔窗；机械手底部设有吸盘和弹性压框；弹性压框同轴套设在吸盘外周的机械手底部，弹性压框的截面宽度不小于0.5mm；对中定位装置包括相互垂直的横向对中组件和竖向对中组件；横向对中组件和竖向对中组件均包括两块定位板。本发明能使整个检测过程均自动完成，自动化程度高，同时能准确控制多层陶瓷基板外边缘与空腔窗边缘之间的间距，且压紧位置和压紧力保持一致，从而使得气密性检测结果可靠、准确度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多层 陶瓷 气密性 检测 装置 | ||
【主权项】：
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