[发明专利]许可证认证装置和许可证认证方法在审
| 申请号： | 202010424567.7 | 申请日： | 2020-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN112016054A | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 笠井隆人;康荣太 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G06F21/10 | 分类号： | G06F21/10;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;徐飞跃 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供许可证认证装置和许可证认证方法。本发明的一方式的许可证认证装置进行应用程序的许可证期限的认证，其中，上述应用程序是用于调整半导体工厂内的半导体制造装置的参数的应用程序，上述许可证认证装置包括：许可证信息保存部，其保存包含上述许可证期限的许可证文件；日志数据获取部，其获取上述半导体制造装置执行了处理时的日志数据；和许可证期限判断部，其判断上述日志数据获取部所获取的上述日志数据中包含的时刻是否超过了保存于上述许可证信息保存部中的上述许可证期限。本发明能够更稳固地进行使用期限的认证。 | ||
| 搜索关键词： | 许可证 认证 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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